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单晶工注意事项 一． 单晶炉应该做到那些检查，达到什么要求标准，才能装炉？ 1. 检查单晶炉各冷却水畅通，水压正常大于0.17mpa。 2. 检查单晶炉真空度小于5 pa, 漏气率小于0.33 pa每分钟。 3. 检查上下晶，埚转运转是否正常，并看实际速度与显示是否一致。 4. 检查单晶炉对中，水平，晶转无摆动现象。 二． 高纯卫生会影响单晶的那些性能? 1. 单晶的少数载原子寿命，高纯卫不好会使单晶少子寿命大幅度下降。 2. 碳含量，石墨器件处理不好或污染原料，会使单晶碳含量集聚增高。 3. 电阻率及型号， 严重沾污会使单晶电阻率掺不准至转型。 三． 装料应注意那些事项？ 1. 做好防护卫生，戴好手套，口罩，帽子。 2. 检查石英坩埚质量，确认合格，轻拿轻放，并放正放平。 3. 先装小料碎料铺底一层，然后载装大料，边装边检查料的质量，发现有杂物及脏料立刻检出，上部料不要挤到埚边，以免搭桥。 四． 什么样的石英坩埚是合格的？ 目检要求厚度均匀一致，内壁光滑无气泡，无黑点，无污染，无脱落颗粒，口部底部无缺口及裂纹。 五． 拉晶为什么要收尾？ 单晶收尾是为了提高单晶成品率，减少位错向上延伸的长度，单晶位错反延的长度约为单晶棒尾部直径，尾部直径约细越好，位错反延越小。 六． 正常情况下，为什么单晶电阻是头高尾低？尾部电阻升高 甚至转型的正常因素有那些？ 1.正常情况下，生长单晶时由于杂质的分凝效应和主要杂质硼，磷砷锑的分凝系数小于1，先凝固的杂质浓度比后的杂质浓度小，所以头部电阻高于尾部电阻。 2.造成尾部电阻高于头部，甚至转型P-N,N-P的原因：原料中反型杂质（补偿杂质）含量进大于拉P型单晶时原料中N型含量过高；坩埚反型补偿（如拉N型单晶坩埚P型杂质 补偿）；系统反型补偿。 工艺技术 1、 引晶埚位过高，液面距太小，造成炉内导气不畅，挥发物不能及时抽走，粘附在单晶炉内壁和石墨件上，时间一长杂质容易脱落，很难成晶。 2、 引晶时认为用原籽晶部位接触较好，这是一误区，没有注意到原籽晶部位已氧化严重，导致变晶，只要接触部位是洁净的就可以。 3、 装料时因不规范操作，带入很多杂质,影响单晶生长. 本文来源：https://www.dywdw.cn/363b998a7c1cfad6185fa74a.html
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2023-05-07
